Model No: JGGSY100
激光干涉仪
1.准确测量100mm口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2.测量精度和测量重复性能媲美美国Zygo和4D干涉仪。
3.根据客户要求定制开发。
2.测量精度和测量重复性能媲美美国Zygo和4D干涉仪。
3.根据客户要求定制开发。
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技术参数产品系列 激光干涉仪
有效通光口径 Φ100
移相方式 PZT机械移相
空腔指标 PV≤入/10, 入=632.8nm
重复精度测量 ≤1nm (RMS)
标准镜材料 TF 镜采用石英材料， RF 镜采用微晶玻璃，
面型精度均≤ J./20, 入=632.8nm
测量方式 菲索干涉原理
激光源 氮氖激光器， 入=632.8nm
电源 AC220V SOHZ
标准配件 计算机及测量分析软件
有效通光口径 Φ100
移相方式 PZT机械移相
空腔指标 PV≤入/10, 入=632.8nm
重复精度测量 ≤1nm (RMS)
标准镜材料 TF 镜采用石英材料， RF 镜采用微晶玻璃，
面型精度均≤ J./20, 入=632.8nm
测量方式 菲索干涉原理
激光源 氮氖激光器， 入=632.8nm
电源 AC220V SOHZ
标准配件 计算机及测量分析软件