Model No: DKJJGGSY
大口径激光干涉仪
1.准确测量大口径的光学元件的透射波前、反射波前。
2.测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3.根据客户要求定制开发。
2.测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3.根据客户要求定制开发。
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技术参数产品系列: Φ310mm 移相数字化干涉仪 Φ600mm 移相数字化干涉仪 Φ800mm 移相数字化干涉仪
有效通光口径: Φ300 Φ590 Φ790
移相方式: 波长移相 偏振移相或波长移相 偏振移相或波长移相
空腔指标: PV ≤ λ/10，λ=632.8nm PV ≤ λ/10，λ=632.8nm PV ≤ λ/10，λ=632.8nm
重复精度测量: ≤ 1nm（RMS） ≤ 1nm（RMS） ≤ 1nm（RMS）
标准镜材料: TF 镜采用石英材料， TF 镜采用石英材料，RF 镜 标准透射 TF 镜面形 PV 优于 λ/12
RF 镜采用微晶玻璃， 采用微晶玻璃，面型精度均 （λ=632.8nm）， 标准反射 RF 镜面
面型精度均 ≤ λ/12，λ=632.8nm ≤ λ/12，λ=632.8nm 形 PV 优于 λ/10（λ=632.8nm）
测量方式: 菲索干涉原理 菲索干涉原理 菲索干涉原理
激光源: 氦氖激光器，λ=632.8nm 氦氖激光器，λ=632.8nm 氖激光器，λ=632.8nm
电源: AC220V 50HZ AC220V 50HZ AC220V 50HZ
标准配件: 计算机及测量分析软件 计算机及测量分析软件 计算机及测量分析软件
有效通光口径: Φ300 Φ590 Φ790
移相方式: 波长移相 偏振移相或波长移相 偏振移相或波长移相
空腔指标: PV ≤ λ/10，λ=632.8nm PV ≤ λ/10，λ=632.8nm PV ≤ λ/10，λ=632.8nm
重复精度测量: ≤ 1nm（RMS） ≤ 1nm（RMS） ≤ 1nm（RMS）
标准镜材料: TF 镜采用石英材料， TF 镜采用石英材料，RF 镜 标准透射 TF 镜面形 PV 优于 λ/12
RF 镜采用微晶玻璃， 采用微晶玻璃，面型精度均 （λ=632.8nm）， 标准反射 RF 镜面
面型精度均 ≤ λ/12，λ=632.8nm ≤ λ/12，λ=632.8nm 形 PV 优于 λ/10（λ=632.8nm）
测量方式: 菲索干涉原理 菲索干涉原理 菲索干涉原理
激光源: 氦氖激光器，λ=632.8nm 氦氖激光器，λ=632.8nm 氖激光器，λ=632.8nm
电源: AC220V 50HZ AC220V 50HZ AC220V 50HZ
标准配件: 计算机及测量分析软件 计算机及测量分析软件 计算机及测量分析软件
